特氣系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造中的作用主要包括以下幾個(gè)方面：
確保高純度氣體供應(yīng)：半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度的要求極高。特氣系統(tǒng)能夠提供高純度的特種氣體，確保在光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝中，微量的雜質(zhì)不會(huì)引發(fā)圖形缺陷、線寬偏差等問題，從而顯著提升芯片的性能和成品率1。
精準(zhǔn)控制與穩(wěn)定供應(yīng)：在半導(dǎo)體制造過程中，特種氣體的流量和壓力控制極為重要。特氣系統(tǒng)配備高精度的流量控制器和壓力調(diào)節(jié)器，確保氣體流量和壓力的精確調(diào)節(jié)，特別是在離子注入工藝中，精確的氣體流量和壓力控制直接影響芯片的電學(xué)性能1。此外，特氣系統(tǒng)通過可靠的氣體儲(chǔ)存、輸送和供應(yīng)設(shè)備，確保氣體供應(yīng)的連續(xù)性和穩(wěn)定性，降低生產(chǎn)中斷風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)效率和設(shè)備利用率1。
安全保障：許多特種氣體具有易燃易爆、劇毒、腐蝕性等危險(xiǎn)特性。特氣系統(tǒng)具備嚴(yán)格的安全防護(hù)措施，包括氣體泄漏檢測、防爆設(shè)計(jì)、緊急切斷裝置等，有效防止安全事故的發(fā)生，保障人員和設(shè)備的安全1。
工藝適配性：半導(dǎo)體制造涉及多種工藝，如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等，每種工藝都需要不同種類的特種氣體。特氣系統(tǒng)能夠根據(jù)不同工藝需求，提供適配的特種氣體，支持制造過程中的創(chuàng)新和發(fā)展1。
